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    (1)虽然沉积粒子所释放的动能和结合能将导致沉积原子附近局部温度升高，但整个基体的温升是极其微小的，因此可认为薄膜生长是等温生长过程。
    (2)当人射粒子在基体表面上的能量足够大时，该粒子不但可以在膜层表面进行迁移运动，甚至可以在垂直方向进行运动，若其下层有空位，还可以穿越到下层填补空位。
    (3)在实际过程中，单个粒子的再蒸发率较高，而一旦1个粒子与其他粒子相遇并结合成团后，其再蒸发概率将大为降低，因此可以近似地认为，只有单个粒子可以被再蒸发到基体外部，而多个粒子被再蒸发和分解的可能性很小。
    (4)粒子在基体表面上的运动分为3种情况:①吸附:粒子被吸附在基体表面。②扩散:粒子在基体表面上迁移，其迁移方向应使系统整体能量降低。扩散包括单个粒子自由扩散和沿簇团边缘扩散。③蒸发:粒子在特定的条件下脱离基体表面。