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    低沉积速率使膜层结构疏松，电子越过其势垒产生电导的能力弱，加上氧化和吸附作用，所以电阻值较高，电阻温度系数偏小，甚至为负值。随着沉积速率的增大，电阻值也由大到小，而温度系数却由小到大，由负变正。这是由于低沉积速率的薄膜由于氧化而具有半导体特性，所以温度系数出现负值;而高沉积速率薄膜趋向金属的特性，所以温度系数为正值。因此，一般情况下，也希望有较高的沉积速率。但对特定的材料要从具体的实验中正确选择*的沉积速率。