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    无定形结构薄膜在环境温度下是稳定的。它既包含有不规则的网络结构(玻璃态)，也包括随机密堆积的结构。前者主要出现在氧化物薄膜、元素半导体薄膜和硫化物薄膜之中，后者主要出现在合金薄膜之中?？梢匀衔?，不规则的网络结构是两种互相贯通的随机密堆积结构组成。用衍射法研究时，这种结构在X射线衍射谱图中呈现很宽的散射峰，在电子衍射图中则显示出很宽的弥散形光环。