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    基片温度对薄膜结构也有较大影响?；露雀?，使吸附原子的动能随着增大，跨越表面势垒的几率增大，容易结晶化，并使薄膜缺陷减少，同时薄膜内应力也会减小?；露鹊?，则易形成无定形结构的薄膜?；露鹊难≡褚泳咛迩榭龆?。一般说来，如果沉积的膜层比较薄，当基片温度比较低时，沉积室内的金属原子很快失去动能，并在基片表面上凝结，这时的膜层比较均匀致密，当基片温度过高时反而会出现大颗晶粒，使膜层表面粗糙.如果沉积比较厚的膜层，一般要求基片温度适当高一些，可以减少膜的内应力。